Навчання > Фізика і хімія технологічного процесу в електроніці (171 Електроніка та комп’ютерні системи)

Фізика і хімія технологічного процесу в електроніці (171 Електроніка та комп’ютерні системи)

Тип: Нормативний

Кафедра: фізичної та біомедичної електроніки

Навчальний план

СеместрКредитиЗвітність
34.0Залік

Лекції

СеместрК-сть годинЛекторГрупа(и)
332доцент Пенюх Б. Р.ФеЛ-21, ФеЛ-22

Лабораторні

СеместрК-сть годинГрупаВикладач(і)
332ФеЛ-21доцент Пенюх Б. Р., доцент Пенюх Б. Р.
ФеЛ-22доцент Пташник  В. В., доцент Пташник  В. В.

Опис навчальної дисципліни

Розглядаються технологічні процеси отримання з сировини монокристалічних та плівкових напівпровідників, провідників, діелектриків, магнетиків та виробництво на їх основі електронних пристроїв та питання, пов’язані з методами одержання плівкових зразків; аналізуються фізичні явища, які можуть суттєво впливати на параметри елементів мікро- і наноелектроніки; вивчаються методи дослідження властивостей плівкових матеріалів та визначення робочих параметрів і характеристик мікроелектронних приладів.

Рекомендована література

  • 1. Nalwa H.S. Handbook of Thin Film Materials. Five Volume Set/ Academic Press, 2002 P706,733,434,705,633.
  • 2. Peter M. Martin Handbook for Deposition Technologies for Films and Coatings. Science application and Technology / Elsevier Inc, 2010, P 912.
  • 3. Hartmut Frey and Hamid R. Khan. Handbook of Thin-Film Technology / Springer-Verlag Berlin Heidelberg, 2015, P 379.
  • 4. Krishna Seshan. Handbook of Thin-Film Deposition Processes and Techniques. Principles, Methods, Equipment and Applications Second Edition / Noyes Publications, 2002, P.629,
  • 5. Коман Б. П. Функціональні елементи інформаційних систем на базі напівпровідникової електроніки : навч. посібник / Б. П. Коман. – Львів : ЛНУ імені Івана Франка, 2018. – 794 с.
  • 6. Stephen D. Senturia. Microsystem Design / 1 Kluwer Academic Publishers, 2002, P.689.
  • 7. Проценко І.Ю., Однодворець. Л.В. Технологія одержання і фізичні властивості плівкових матеріалів та основи мікроелектроніки (практикуми): навчальний посібник – Суми: Сумський державний університет, 2020. – 231 с
  • 8. Thomas F. Kuech. Handbook of Crystal Growth Thin Films and Epitaxy: Basic Techniques VOLUME III, Part A Second Edition / Elsevier, 2015, P,1346.
  • 9. Harry J. Levinson. Principles of Lithography. Fourth Edition / SPIE Press, Bellingham, Washington USA, 2019, P.571
  • 10. W. Menz, J. Mohr, 0. Paul. Microsystem Technology / John Wiley & Sons, 2001, P.500.
  • 11. Сусліков Л.М., Дьордяй В.С. Фізика і технологія наноматеріалів: навчальний посібник для студентів фізикотехнічних спеціальностей. – Ужгород: Видавництво «Говерла», 2023. – 437 с.
  • 12. Лобода В.Б. Фізичні основи вакуумної техніки. Навчальний посібник. У двох частинах. – Суми: Університетська книга. 2011,2012. –253 с, 296 с.
  • 13. З.В. Стасюк, Р.І. Бігун, М.М. Козак., Я.А. Пастирський., Б.Р. Пенюх. Вакуумна та плазмова електроніка. Лабораторний практикум. За заг. ред. Проф. З.В. Стасюка.– Львів: Видавничий центр ЛНУ імені Івана Франка. 2020. –480 с

Силабус:

Завантажити силабус