Наносистеми та нанотехнології (153 Мікро- та наносистемна техніка)
Тип: На вибір студента
Кафедра: сенсорної та напівпровідникової електроніки
Навчальний план
| Семестр | Кредити | Звітність |
| 9 | 6 | Залік |
Лекції
| Семестр | К-сть годин | Лектор | Група(и) |
| 9 | 16 | професор Галій П. В. | ФеM-52 |
Лабораторні
| Семестр | К-сть годин | Група | Викладач(і) |
| 9 | 32 | ФеM-52 | професор Галій П. В., професор Галій П. В. |
Опис навчальної дисципліни
Назва дисципліни: _Наносистеми та нанотехнології__(вибіркова) _______________ Семестр: перший (магістри)
Спеціальність (спеціалізація): 153 – Мікро- та наносистемна техніка
___Фізична та біомедична електроніка_________________________________________
загальна кількість годин – 180 (кредитів ЄКТС – _6_);
аудиторні години – 48 (лекції – 16 , практичні – ___ , семінарські – ___,
лабораторні – 32 )
Анотація навчальної дисципліни: Курс присвячений вивченню електронних процесів у квантоворозмірних системах, тобто системах пониженої вимірності. Розглянуті основні технології одержання та методи контролю і дослідження наносистем – наноточок (0D), нанониток (1D) та наноплівок(2D) на наноструктурованих поверхнях. У курсі вивчаються особливості електронно-енергетичної структури та густини електронних станів, кінетики перенесення заряду (балістичний пробіг) та квантово-розмірних особливостей у наносистемах пониженої вимірності. Розглядаються різноманітні методи одержання наносистем та наноструктур різної вимірності, основна увага приділяється гетеро- і гомоепітаксії, осадженню матеріалів з молекулярних пучків (МПЕ), формуванню нанорельєфу за допомогою скануючого тунельного та атомно-силового мікроскопів, методам синтезу нанокристалічних матеріалів.
Результати навчання:
- знати: основні технології одержання та дослідження нанооб’єктів пониженої розмірності – 0D, 1D, 2D викладені у програмі курсу. Розрізняти поняття нанообєки та обєкти пониженої вимірності. Основні методи синтезу наноструктур різної вимірності, з використанням гетеро- і гомоепітаксії, осадженню матеріалів з іонно-молекулярних пучків. Знати основні методи дослідження наносистем – СТМ/CTC, АСМ, їх електронно-енергетичної структури та густини електроннних станів
- вміти: формувати нанорельєф чи одержувати і досліджувати наноструктуровані матриці за допомогою скануючого тунельного (СТМ) та атомно-силового мікроскопів (АСМ), володіти методам синтезу нанокристалічних матеріалів, вміннями обробляти та інтерпретувати отримані результати зондової мікроскопії з допомогою спеціального програмного забезпечення, розрізняти одержані низьковимірні нанооб’єкти та досліджувати їх електронно-енергетичну структури та густину електронних станів методом СТС.
Форма звітності:______________залік______________________
(екзамен, залік)
Мова вивчення: ____ українська ___________