Тонкоплівкові технології в мікроелектроніці
Тип: На вибір студента
Кафедра: фізичної та біомедичної електроніки
Навчальний план
Семестр | Кредити | Звітність |
7 | 5 | Залік |
Лекції
Семестр | К-сть годин | Лектор | Група(и) |
7 | 48 | доцент Пташник В. В. | ФеЛ-41 |
Лабораторні
Семестр | К-сть годин | Група | Викладач(і) |
7 | 48 | ФеЛ-41 | доцент Пташник В. В., доцент Пташник В. В. |
Опис навчальної дисципліни
Розглядаються різноманітні технологічні методики одержання плівкових зразків; вивчаються методи дослідження властивостей фізичних властивостей плівок, аналізуються фізичні явища, які можуть суттєво впливати на їх параметри та керувати технологічними процесами.
Рекомендована література
- 1. Nalwa H.S. Handbook of Thin Film Materials. Five Volume Set/ Academic Press, 2002 P706,733,434,705,633.
- 2. Peter M. Martin Handbook for Deposition Technologies for Films and Coatings. Science application and Technology / Elsevier Inc, 2010, P 912.
- 3. Hartmut Frey and Hamid R. Khan. Handbook of Thin-Film Technology / Springer-Verlag Berlin Heidelberg, 2015, P 379.
- 4. Krishna Seshan. Handbook of Thin-Film Deposition Processes and Techniques. Principles, Methods, Equipment and Applications Second Edition / Noyes Publications, 2002, P.629,
- 5. Коман Б. П. Функціональні елементи інформаційних систем на базі напівпровідникової електроніки : навч. посібник / Б. П. Коман. – Львів : ЛНУ імені Івана Франка, 2018. – 794 с.