Тонкоплівкові технології в мікроелектроніці

Тип: На вибір студента

Кафедра: фізичної та біомедичної електроніки

Навчальний план

СеместрКредитиЗвітність
75Залік

Лекції

СеместрК-сть годинЛекторГрупа(и)
748доцент Пташник  В. В.ФеЛ-41

Лабораторні

СеместрК-сть годинГрупаВикладач(і)
748ФеЛ-41доцент Пташник  В. В., доцент Пташник  В. В.

Опис навчальної дисципліни

Розглядаються різноманітні технологічні методики одержання плівкових зразків; вивчаються методи дослідження властивостей фізичних властивостей плівок, аналізуються фізичні явища, які можуть суттєво впливати на їх параметри та керувати технологічними процесами.

Рекомендована література

  • 1. Nalwa H.S. Handbook of Thin Film Materials. Five Volume Set/ Academic Press, 2002 P706,733,434,705,633.
  • 2. Peter M. Martin Handbook for Deposition Technologies for Films and Coatings. Science application and Technology / Elsevier Inc, 2010, P 912.
  • 3. Hartmut Frey and Hamid R. Khan. Handbook of Thin-Film Technology / Springer-Verlag Berlin Heidelberg, 2015, P 379.
  • 4. Krishna Seshan. Handbook of Thin-Film Deposition Processes and Techniques. Principles, Methods, Equipment and Applications Second Edition / Noyes Publications, 2002, P.629,
  • 5. Коман Б. П. Функціональні елементи інформаційних систем на базі напівпровідникової електроніки : навч. посібник / Б. П. Коман. – Львів : ЛНУ імені Івана Франка, 2018. – 794 с.

Силабус:

Завантажити силабус