Навчання > Тонкоплівкові мікроелектронні пристрої

Тонкоплівкові мікроелектронні пристрої

Тип: Нормативний

Кафедра: фізичної та біомедичної електроніки

Навчальний план

СеместрКредитиЗвітність
94.5Іспит

Лекції

СеместрК-сть годинЛекторГрупа(и)
916доцент Пенюх Б. Р.ФеMм-11, ФеMм-12

Лабораторні

СеместрК-сть годинГрупаВикладач(і)
932ФеMм-11доцент Пенюх Б. Р., доцент Пенюх Б. Р.
ФеMм-12доцент Пенюх Б. Р., доцент Пенюх Б. Р.

Опис навчальної дисципліни

Розглядаються питання, пов’язані з методами одержання плівкових зразків; аналізуються фізичні явища, які можуть суттєво впливати на параметри елементів мікро- і наноелектроніки; вивчаються методи дослідження властивостей плівкових матеріалів та визначення робочих параметрів і характеристик мікроелектронних приладів.

Метою викладання навчальної дисципліни є формування у студентів знань та практичних навичок роботи з системами препарування плівкових зразків, спеціальними методиками контролю за їх фізичними параметрами та розуміння процесів що лежать в основі роботи плівкових мікроелектроних пристроїв різного ступеня складності.

Рекомендована література

Основна література:

  • 1. W. Menz, J. Mohr, 0. Paul. Microsystem Technology / John Wiley & Sons, 2001, P.500.
  • 2. C. Y. Chang, S. M. Sze. ULSI devices / John Wiley & Sons, 2000, P. 729.
  • 3. Stephen A. Campbell. The Science and Engineering of Microelectronic Fabrication / Oxford University Press, 2001, P.603.
  • 4. Richard C. Jaeger. Introduction to Microelectronic Fabrication. Second Edition. Volume V / Prentice Hall, 2002, P.318.
  • 5. Owen Bishop. Microelectronics – Systems and Devices / Newnes, Oxford, 2000, P.213.
  • 6. Adel S. Sedra, Kenneth C. Smith. Microelectronic Circuits. Fifth Edition / Oxford University Press, 2004, P. 1373.
  • 7. B. R. Sankapal, A. Ennaoui, R. B. Gupta, Ch. D. Lokhande, Simple Chemical Methods for Thin Film Deposition. Synthesis and Applications. / Springer Nature Singapore Pte Ltd., 2023, Р. 582.
  • 8. Коман Б. П. Функціональні елементи інформаційних систем на базі напівпровідникової електроніки : навч. посібник / Б. П. Коман. – Львів : ЛНУ імені Івана Франка, 2018. – 794 с.
  • 9. Stephen D. Senturia. Microsystem Design / 1 Kluwer Academic Publishers, 2002, P.689.
  • 10. Проценко І.Ю., Однодворець. Л.В. Технологія одержання і фізичні властивості плівкових матеріалів та основи мікроелектроніки (практикуми): навчальний посібник – Суми: Сумський державний університет, 2020. – 231 с
  • 11. Сусліков Л.М., Дьордяй В.С. Фізика і технологія наноматеріалів: навчальний посібник для студентів фізико-технічних спеціальностей. – Ужгород: Видавництво «Говерла», 2023. – 437 с.

Додаткова література:

  • 1. Clifton G. Fonstad. Microelectronic Devices and Circuits. Electronic Edition / McGraw-Hill, 2006, P 686.
  • 2. Павлов С. М., Войцеховська О. В. Технологія мікроелектронних засобів : навчальний посібник. – Вінниця : ВНТУ, 2017. – 169 с.
  • 3. U. Okoroanyanwu, Lithographic resists as amazing compact imaging systems – A review. Micro and Nano Engineering 24, 100280 (2024).
  • 4. Peter M. Martin Handbook for Deposition Technologies for Films and Coatings. Science application and Technology / Elsevier Inc, 2010, P 912.
  • 5. Hartmut Frey and Hamid R. Khan. Handbook of Thin-Film Technology / Springer-Verlag Berlin Heidelberg, 2015, P 379.
  • 6. Harry J. Levinson. Principles of Lithography. Fourth Edition / SPIE Press, Bellingham, Washington USA, 2019, P.571

Силабус:

Завантажити силабус