Наносистеми та нанотехнології (176 Мікро- та наносистемна техніка)
Тип: Нормативний
Кафедра: сенсорної та напівпровідникової електроніки
Навчальний план
| Семестр | Кредити | Звітність |
| 9 | 4.5 | Іспит |
Лекції
| Семестр | К-сть годин | Лектор | Група(и) |
| 9 | 16 | професор Галій П. В. | ФеMм-12 |
Лабораторні
| Семестр | К-сть годин | Група | Викладач(і) |
| 9 | 32 | ФеMм-12 | професор Галій П. В., професор Галій П. В. |
Опис навчальної дисципліни
Курс присвячений вивченню електронних процесів у квантоворозмірних системах пониженої вимірності. Розглянуті основні технології одержання наносистем пониженої вимірності – квантових наноточок (0D), нанониток (1D) та наноплівок (2D), у яких мають місце квантово-розмірні ефекти, на наноструктурованих поверхнях. У курсі вивчаються особливості електронно-енергетичної
структури та густини електронних станів, кінетики перенесення заряду (балістичний пробіг) та квантово розмірних особливостей у наносистемах пониженої вимірності. Розглядаються різноманітні методи одержання наносистем та наноструктур різної вимірності, основна увага приділяється гетеро- і гомоепітаксії, осадженню матеріалів з молекулярних пучків (МПЕ), формуванню нанорельєфу за допомогою скануючого тунельного та атомно-силового мікроскопів, методам синтезу нанокристалічних матеріалів.
Метою дисципліни є освоєння студентами основних технології одержання та дослідження нанооб’єктів пониженої розмірності – 0D, 1D, 2D та особливостей їх електронно-енергетичної структури. Розрізняти поняття нанооб’єки та об’єкти пониженої вимірності. Основні методи синтезу наноструктур різної вимірності, з використанням гетеро- і гомоепітаксії, осадженню матеріалів з іонно-молекулярних пучків. Знати основні методи дослідження наносистем – СТМ/CTC, АСМ, їх електронно-енергетичної структури та густини електроннних станів.
Матеріали
- 1. Заячук Д. М. Нанотехнології і наноструктури: навч. посіб. / Д. М. Заячук. — Львів : Видав. нац. ун-ту “Львів. політехніка /”, 2009. — 580 с.
- 2. Заячук Д. М. Нанорозмірні структури і надгратки / Д. М. Заячук. — Львів : Видав. нац. ун-ту “Львів. політехніка”, 2006. — 220 с.
- 3. Поплавко Ю. М. Нанофізика, наноматеріали, наноелектроніка: навч. посібник / Ю. М. Поплавко, О. В. Борисов, Ю. І. Якименко. — Київ : НТУУкраїни КПІ, 2012. — 300 с.
- 4. Боровий М.О. Вступ до наноелектроніки / М.О. Боровий,
Ю.А., Куницький, В.В. Курилюк. ⎯ Київ : Кафедра, 2013.
⎯ 256 с. - 5. Основи наноелектроніки. Підручник у 2-х книгах / Ю. І. Якименко [та ін.]. – Київ : НТУ України “КПІ”, 2016. – Кн. 2 : Матеріали, технології і функціональні пристрої. – 350 с.
- 6. Стребежев В.М. / Основи субмікронної та нанотехнології: навч. посіб. ч. 1 / В. М. Стребежев, І. М. Юрійчук. ⎯ Чернівці : Чернівецький нац. ун-тет ім. Ю. Федьковича, 2021. ⎯ 120 с.
- 7. Наноматеріали, нанотехнології, нанопристрої : навч. посіб. / М. О. Боровий [та ін.]. — Київ : Інтерсервіс, 2015. — 350 с.
- 8. Савчин В. П. Розділ 9. Квантово-розмірні структури у фотоелектроніці / В. П. Савчин, І. І. Іжнін, М. М. Ваків // Напівпровідникова фотоелектроніка. – Львів, 2010. – С. 728.
- 9. Третяк О.В. Фізика низьковимірних систем: навч. посібник / О. В. Третяк, В. З. Лозовський. ⎯ Київ : Київський ун-т, 2013. ⎯ 372 с.
- 10. Borisenko V. E. What is what in the nanoworld: a handbook on nanoscience and nanotechnology / V. E. Borisenko, S. Ossicini. — 2nd ed. — Berlin : Wiley-VCH, 2008. — 522 p.
- 11. Nanoelectronics and photonics: from atoms to materials, devices and architectures / ed. by A. Korkin, F. Rosei. — Berlin : Springer, 2008. — 453 p.
- 12. Mitin V. Introduction to nanoelectronics science, nanotechnology, engineering, and applications / V.V. Mitin, V.A. Kochelap, M.A. Strosci. — Cambridge: Cambridge University Press, 2012. — 346 p.
- 13. Nanoelectronics and information technology advanced electronic materials and novel devices / ed. by R. Waser. — 3rd ed. — Berlin: Wiley-VCH, 2012. — 1040 p.
- 14. Чекман І. С. Англо-Український словник-довідник з нанонауки / І. С. Чекман, С. О. Радзієвська. — Київ : Задруга, 2013. — 296 с.