Навчання > Наноінженерія та електронна спектроскопія поверхні

Наноінженерія та електронна спектроскопія поверхні

Тип: На вибір студента

Кафедра: сенсорної та напівпровідникової електроніки

Навчальний план

СеместрКредитиЗвітність
96Залік

Лекції

СеместрК-сть годинЛекторГрупа(и)
916професор Галій П. В.ФеMм-12

Лабораторні

СеместрК-сть годинГрупаВикладач(і)
932ФеMм-12професор Галій П. В., професор Галій П. В.

Опис навчальної дисципліни

Курс присвячений вивченню основних технології наноінженерії та електронної спектроскопії на кристалічних напівпровідникових поверхнях підкладок для одержання наносистем з низьковимірними об’єктами, як основ наноелектроніки. Отже, вивченню методів одержання та контролю і дослідження таких наносистем – наноточок (0D), нанониток (1D) та наноплівок(2D) на наноструктурованих поверхнях. Вивченню їх елементно-фазово складу, кристалографії, елекронно-енергетичної структури методами електронної спектроскопії поверхні.

Рекомендована література

  • 1. Заячук Д. М. Нанотехнології і наноструктури: навч. посіб. / Д. М. Заячук. — Львів : Видав. нац. ун-ту “Львів. політехніка /”, 2009. — 580 с.
  • 2. Примаченко В.Е., Снитко О.В. Физика легированной металлами поверхности полупроводников. – Киев: Наукова думка1988,”, 2006. —
    220 с.
  • 3. Нестеренко Б.А Ляпин В.Г. Фазовые переходы на свободных гранях и межфазовых границах в полупроводниках 1990, Киев: Наукова думка. — 320 с
  • 4. Черепин В.Т.,Васильев М.М. Методы и приборы для анализа поверхности материалов. Справочник. 1992,., Киев: Наукова думка. — 450 с.
  • 5. Галій П.В., .Ненчук Т.М., Стахіра Й.М., Методичні вказівки до лабораторного практикуму зі спецкурсів “Фізичні основи інтегральної електроніки” та “Напівпровідникове матеріалознавство” 2012, Львів.: Видавничий центр ЛНУ імені Івана Франка. 63 с.
  • 6. Стребежев В.М. / Основи субмікронної та нанотехнології: навч. посіб. ч. 1 / В. М. Стребежев, І. М. Юрійчук. ⎯ Чернівці : Чернівецький нац. ун-тет ім. Ю. Федьковича, 2021. ⎯ 120 с.
  • 7. Наноматеріали, нанотехнології, нанопристрої : навч. посіб. / М. О. Боровий [та ін.]. — Київ : Інтерсервіс, 2015. — 350 с.
  • 8. Третяк О.В. Фізика низьковимірних систем: навч. посібник / О. В. Третяк, В. З. Лозовський. ⎯ Київ : Київський ун-т, 2013. ⎯ 372 с.
  • 9. Handbook of Surface Science, Vol. 2. Electronic Structure, Vol. Eds. K. Horn, M. Scheffler, Elsevier, 2000.
  • 10. Surface and Thin Film Analysis: Principles, Instrumentation, Applications, Eds. H.Bubert and H.Jenett, Wiley, 2002.
  • 11. Goodhew P.J., Humphreys J., Beanland R. Electron microscopy and analysis. 3d edition, Taylor and Francis, London and New York, 2001.
  • 12. Watts J. F., Wolstenholme J. An Introduction to Surface Analysis by XPS and AES, Wiley, 2003.

Силабус:

Завантажити силабус