Електронна мікроскопія

Тип: На вибір студента

Кафедра: фізичної та біомедичної електроніки

Навчальний план

СеместрКредитиЗвітність
108Залік

Лекції

СеместрК-сть годинЛекторГрупа(и)
1032доцент Пенюх Б. Р.ФеMм-11

Лабораторні

СеместрК-сть годинГрупаВикладач(і)
1032ФеMм-11доцент Пенюх Б. Р., доцент Пенюх Б. Р.

Опис навчальної дисципліни

Розглядаються питання взаємодії електронів з речовиною; характеристики електронного пучка; будова і принципи роботи лінз; принципи роботи електронних мікроскопів у різних режимах;
принципи формування та обробка зображень, отриманих у електронному мікроскопі; методики препарування зразків для електронно-мікроскопічних досліджень.

Метою викладання навчальної дисципліни є формування у студентів знань та практичних навичок роботи з електронними мікроскопами. Завдання: навчити студентів основ функціонування трансмісійних та скануючих мікроскопів, розуміння вимог до об’єктів, які можуть бути дослідженні в електронних мікроскопах, методик опрацювання та принципів трактування результатів електронно-мікроскопічних досліджень.

Рекомендована література

  • 1. Litao Sun, Tao Xu, Ze Zhang. In-Situ Transmission Electron Microscopy / Springer Nature Singapore Pte Ltd., 2023, P.371.
  • 2. Stephen J. Pennycook Peter D. Nellist. Scanning Transmission Electron Microscopy Imaging and Analysis / Springer Science+Business Media, 2011, P.764.
  • 3. Anwar Ul-Hamid. A Beginners Guide to Scanning Electron Microscopy / Springer Nature Switzerland, 2018, P.402.
  • 4. Patrick Echlin. Handbook of Sample Preparation for Scanning Electron Microscopy and X-Ray Microanalysis / Springer Science+Business Media, 2009, P.330.
  • 5. David Brandon And Wayne D. Kaplan. Microstructural Characterization of Materials 2nd ed./John Wiley & Sons Ltd, The Atrium, Southern Gate, Chichester, 2008, P.536.
  • 6. A.J. Garratt-Reed, D.C. Bell. Energy-Dispersive X-ray Analysis in the Electron Microscope/ Microscopy Handbook 49/ – BIOS Scientific Publishers Limited, 2003. – P.163.
  • 7. Бойко Б.Т., Шкалето В.І., Хрипунов Г.С., Зайцев Р.В. Фізичне матеріалознавство для мікро- та наноелектроніки: дослідження структури плівок електронографічним методами: навч. посібник. Том 1. –Х.: НТУ «ХПІ», 2014. – 142с.
  • 8. Nikodem Tomczak Kuan Eng Johnson Goh. SCANNING PROBE MICROSCOPY /World Scientific Publishing, 2011, P.261.
  • 9. Fatima Merchant, Kenneth R. Castleman. Microscope image processing. – Elsevier, 2023. – 498 р

Силабус:

Завантажити силабус