Методи дослідження поверхні (153 – Сенсорні та діагностичні електронні системи)

Тип: Нормативний

Кафедра: фізичної та біомедичної електроніки

Навчальний план

СеместрКредитиЗвітність
94.5Іспит

Лекції

СеместрК-сть годинЛекторГрупа(и)
916доцент Пенюх Б. Р.ФеM-51, ФеM-52

Лабораторні

СеместрК-сть годинГрупаВикладач(і)
932ФеM-51доцент Пенюх Б. Р., доцент Пенюх Б. Р.
ФеM-52доцент Пенюх Б. Р., доцент Пенюх Б. Р.

Опис навчальної дисципліни

Мета курсу – формування у студентів знань та практичних навичок по дослідженню властивостей поверхні твердого тіла. В курсі розглядаються наступні питання: властивості межі поділу вакуум-поверхня твердого тіла; методи очищення поверхні; математичні принципи опису поверхневих структур та методи їх дослідження; термодесорбційні методи дослідження поверхні; методи дослідження роботи виходу поверхні, принципи роботи автоелектронного та автоіонного мікроскопів-проекторів та методи електронної спектроскопії.

Результати навчання:

  • знати:
  1. Класифікацію сучасних методів дослідження поверхні.
  2. Принципи побудови сучасних установок для дослідження фізичних властивостей поверхні.
  3. Особливості межі розділу поверхня твердого тіла-вакуум, та методи очищення поверхні.
  4. Дифракційні методи дослідження структури поверхні.
  5. Методи дослідження хімічного складу поверхні.
  • вміти:
  1. Працювати з ультрависоковакуумними системами.
  2. Виготовляти вістря для скануючого тунельного і автоелектронного мікроскопів.
  3. Дослідити емісійні властивості поверхні методами термоемісії, фотоелектронної емісії та КРП.
  4. Дослідити структуру поверхні за допомогою автоелектронного проектора.
  5. Вміти розшифрувати мас-спектр реальної суміші газів.