Методи дослідження поверхні (153 – Сенсорні та діагностичні електронні системи)
Тип: Нормативний
Кафедра: фізичної та біомедичної електроніки
Навчальний план
Семестр | Кредити | Звітність |
9 | 4.5 | Іспит |
Лекції
Семестр | К-сть годин | Лектор | Група(и) |
9 | 16 | доцент Пенюх Б. Р. | ФеM-51, ФеM-52 |
Лабораторні
Семестр | К-сть годин | Група | Викладач(і) |
9 | 32 | ФеM-51 | доцент Пенюх Б. Р., доцент Пенюх Б. Р. |
ФеM-52 | доцент Пенюх Б. Р., доцент Пенюх Б. Р. |
Опис навчальної дисципліни
Мета курсу – формування у студентів знань та практичних навичок по дослідженню властивостей поверхні твердого тіла. В курсі розглядаються наступні питання: властивості межі поділу вакуум-поверхня твердого тіла; методи очищення поверхні; математичні принципи опису поверхневих структур та методи їх дослідження; термодесорбційні методи дослідження поверхні; методи дослідження роботи виходу поверхні, принципи роботи автоелектронного та автоіонного мікроскопів-проекторів та методи електронної спектроскопії.
Результати навчання:
- знати:
- Класифікацію сучасних методів дослідження поверхні.
- Принципи побудови сучасних установок для дослідження фізичних властивостей поверхні.
- Особливості межі розділу поверхня твердого тіла-вакуум, та методи очищення поверхні.
- Дифракційні методи дослідження структури поверхні.
- Методи дослідження хімічного складу поверхні.
- вміти:
- Працювати з ультрависоковакуумними системами.
- Виготовляти вістря для скануючого тунельного і автоелектронного мікроскопів.
- Дослідити емісійні властивості поверхні методами термоемісії, фотоелектронної емісії та КРП.
- Дослідити структуру поверхні за допомогою автоелектронного проектора.
- Вміти розшифрувати мас-спектр реальної суміші газів.